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自動蒸鍍控製器
用途：主要用於舊機升級改造，配合本公司電子槍，可以把電子槍、坩堝、晶控有機結合在一起實現自動蒸鍍。
改造後的蒸鍍流程：
l 啟動蒸鍍。
l 坩堝自動轉位。
l 電子槍束斑位置和大小自動隨坩堝轉變。
l 坩堝到位，晶控啟動電子槍束流加熱膜料，按設定功率曲線打開擋板開始蒸鍍。
l 達到設定膜厚，電子槍束流和擋板自動關閉。
l 晶控自動啟動下一層蒸鍍，重復以上過程直到整個膜系鍍製完成。
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