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OEBG-103A電子槍

用途：用於各種電子束鍍膜機，特別適於鍍制較高要求的光學薄膜。

l      電子束偏轉角270°，燈絲不易污染，適合鍍制多層膜

l      使用永磁體構成偏轉磁場

l      磁場均勻，電子束垂直入射，蒸發麵平整不紮坑（如SIO2，MGF2） 

OEBG-103A電子槍技術規格

外形尺寸：155*148*173

重量：10kg 

特點：

l      結構形式：槍頭為開放式，電子束偏轉靠的是永磁鐵，電子束運動軌跡為270°，發射電流的穩定性優於±2%；使用精確到個位數的數顯表顯示束流，通常隻能觀察到±1mA的數字變動（比如調整到500mA，數字量一般在499~501之間）；

l      束流調整線性化，用手控盒時，束流旋鈕一圈對應100mA束流，使用晶控控制時，POWER10%對應100mA束流，20%對應200mA束流，等等；

l      高壓從-4KV到-10KV連續可調，並帶穩壓功能，電壓調整率非常小，即束流從小到大調節時，高壓基本不會變化；快速滅弧電路可在1ms之內切斷打火電弧，如果電弧能量超出瞭快速滅弧電路的工作范圍，高壓復位電路啟動，高壓和束流電路切斷，待電弧消失後自動復位；

l      X、Y掃描范圍為±15mm，X、Y位移范圍為±15mm；位移和掃描全部可以通過電腦設定；束流變化時，光斑位置不會變化；蒸發麵平整，不會出現紮小坑現象（如SIO2，MGF2）；

l      掃描頻率：橫向500Hz，縱向50Hz；

l      高壓電療為陶瓷焊接結構，真空室外接線部位有聚四氟乙烯套筒保護；

l      可以使用的真空度：7X10-2Pa以下；

l      功率：10kW；輸出穩定性小於±2%；紋波小於±5%；

新手教學

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