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電子槍
用途:用於各種電子束鍍膜機,特別適於鍍制較高要求的光學薄膜。
特點:
l 結構形式:槍頭為開放式,電子束偏轉靠的是永磁鐵,電子束運動軌跡為270°,發射電流的穩定性優於±2%;使用精確到個位數的數顯表顯示束流,通常隻能觀察到±1mA的數字變動(比如調整到500mA,數字量一般在499~501之間);
l 束流調整線性化,用手控盒時,束流旋鈕一圈對應100mA束流,使用晶控控制時,POWER10%對應100mA束流,20%對應200mA束流,等等;
l 高壓從-4KV到-10KV連續可調,並帶穩壓功能,電壓調整率非常小,即束流從小到大調節時,高壓基本不會變化;快速滅弧電路可在1ms之內切斷打火電弧,如果電弧能量超出瞭快速滅弧電路的工作范圍,高壓復位電路啟動,高壓和束流電路切斷,待電弧消失後自動復位;
l X、Y掃描范圍為±15mm,X、Y位移范圍為±15mm;位移和掃描全部可以通過電腦設定;束流變化時,光斑位置不會變化;蒸發麵平整,不會出現紮小坑現象(如SIO2,MGF2);
l 掃描頻率:橫向500Hz,縱向50Hz;
l 高壓電療為陶瓷焊接結構,真空室外接線部位有聚四氟乙烯套筒保護;
l 可以使用的真空度:7X10-2Pa以下;
l 功率:10kW;輸出穩定性小於±2%;紋波小於±5%;
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