移動方向 XY軸2方向
移動量 ±12.5mm
ステージ麵 60mm×60mm
使用モータ PK523HPB相當(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移動精度HV 真直度(水平?垂直)0.002mm
移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め精度 0.01mm
繰り返し精度 ±0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
運動の平行度 0.02mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.2sec/N?cm、ピッチ剛性 0.2sec/N?cm、ロール剛性 0.2sec/N?cm
耐荷重 39.2N(4kgf)
質量 1.0kg
最高速度 16mm/s(8,000pps時)
主要材質/表麵処理 アルミ合金/黒アルマイト梨地
原點センサ ノーマルクローズ接點(ブレーク接點、B接點)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接點(ブレーク接點、B接點)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3
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