移動方向 XY軸2方向
移動量 ±15mm
ステージ麵 70mm×70mm
使用モータ PK523HPB相當（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）
移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.002mm
移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め精度 0.012mm
繰り返し精度 ±0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
運動の平行度 0.02mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.12sec/N?cm、ピッチ剛性　0.16sec/N?cm、ロール剛性　0.16sec/N?cm
耐荷重 39.2N（4kgf）
質量 1.3kg
最高速度 16mm/s（8,000pps時）
主要材質/表麵処理 アルミ合金／黒アルマイト梨地
原點センサ ノーマルクローズ接點（ブレーク接點、Ｂ接點）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接點（ブレーク接點、Ｂ接點）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3
スケール型式 GSI製マーキュリー（テープスケール、ケーブル3m）
スケール分解能 5μm～0.05μm
スケール精度 ±60nm/0.02mm

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