移動方向 XY軸2方向
移動量 ±15mm
ステージ麵 90mm×100mm
使用モータ PK543NBW相當(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度HV 真直度(水平?垂直)0.0007mm
位置決め精度 0.002mm
繰り返し精度 ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.2sec/N?cm、ピッチ剛性 0.15sec/N?cm、ロール剛性 0.15sec/N?cm
耐荷重 157N(16kgf)
質量 7kg
最高速度 16mm/s(8,000pps時)
主要材質/表麵処理 鋼材/カニゼンメッキ(テーブル)、塗裝(ベース)
原點センサ ノーマルオープン接點(メイク接點、A接點)動作、フォトセンサ
原點前センサ ノーマルクローズ接點(ブレーク接點、B接點)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接點(ブレーク接點、B接點)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3
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