BSM(中頻磁控濺射電源):適用於中頻孿生靶磁控濺射金屬或非金屬材料,特別適合於反應磁控濺射鍍制ITO膜、介質膜等。本電源能增加離化率,減少電荷積累引起的異常放電,預防靶表麵中毒現象。 B系列雙極性電源采用先進的高頻逆變技術,體積小,重量輕,效率高。廣泛應用於真空鍍膜、感應加熱、輝光清洗等領域。提供多種控制接口,方便客戶實現自動控制系統的開發應用 用途 :● 真空鍍膜 ● 感應加熱 ● 輝光清洗 ● 特殊定制 |
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