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U系列
電源功率范圍
5-100kW
輸入電壓
AC380V±5%,50Hz
輸出波形
單極性脈沖
電源種類
磁控賤射電源
偏壓電源
離子源
工作方式
恒流
恒壓
輸出穩定率
1%F.S
輸出頻率
40 kHz 、60 kHz 80kHz
輸出占空比
10%~80%
輸出電壓范圍
50-1200V
輸出電流范圍
5-100A
輸出接口
模擬0-5V或0-10V
RS485通訊
通訊協議
MODBUS