商品代碼:3831158

  • 橢偏儀 日本OTSUKA牌 FE-5000
    商品代碼: 3831158
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    商品詳細說明
    桌上型橢圓偏光儀 FE-5000S量測項目規格樣式
    桌上型橢圓偏光儀 FE-5000S
    產品特色
     400波長以上的多頻分光法,迅速量測出橢圓偏光光譜。

     自由變換反射量測角度,可得到更詳細的薄膜解析數據。

     反射角度自動可變的測量方式,對薄膜測量有更高精度的分析。

     搭載有薄膜解析所需的全角度同時測量功能。

     測量晶圓與金屬表面的光學常數(n:屈折率,k:衰減係數)。

     

    量測項目

    橢圓偏光量測(tanΨ,cosΔ)光學常數分析(n:屈折率,k:衰減係數)膜厚分析

    規格樣式

    樣品對應尺寸:   100 × 100 mm測量方式:   旋轉檢光發入射/反射角度范圍:   45 ~ 90°入射/反射角度驅動方式:   反射角度自動可變式波長測量范圍:   300 ~ 800 nm分光元件:  Poly-chrometer尺寸:  650(H)×400(D)×560(W)mm重量:   約50kg


    新手教學
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