400波長以上的多頻分光法,迅速量測出橢圓偏光光譜。
自由變換反射量測角度,可得到更詳細的薄膜解析數據。
反射角度自動可變的測量方式,對薄膜測量有更高精度的分析。
搭載有薄膜解析所需的全角度同時測量功能。
測量晶圓與金屬表面的光學常數(n:屈折率,k:衰減係數)。
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反射角度自動可變的測量方式,對薄膜測量有更高精度的分析。
搭載有薄膜解析所需的全角度同時測量功能。
測量晶圓與金屬表面的光學常數(n:屈折率,k:衰減係數)。