高速解析近紅外光領域的分光光譜機。
可量測帶有吸收近紅外光領域特質的膜厚樣品,相較於一般光譜機量測範圍更為加大。
搭配附屬的選配附件,量測環境不受限制,適用於各領域量測。
提供架設於製程線上(In-line)的及時監控規劃。
發光光譜量測 |
穿透率、吸收率光譜量測 |
反射率光譜量測 |
膜厚量測 |
MCPD-5000 | MCPD-N500 | |
波長範圍 | 900 ~ 1600 nm | 1100 ~ 2500 nm |
分光元件 | 刻線全像顯影光柵,F=3,f=135mm | 全像顯影光柵,F=3,f=135mm |
波長精度* | ±2 nm | |
感光元件 | InGaAs線型影像感測器(電子冷卻) | |
512ch | 256ch | |
解析能力 | 1.7nm | 6.3nm |
曝光時間 | 1msec ~ 10sec | |
光纖規格 | 混鍺石英製光纖(Ge Doped),長約2m(標準型) | |
通訊介麵 | 232C | |
尺寸重量 | 430(W)×350(D)×187(H)mm,約15kg |
* 波長校正用光源對氖物理輝線之確認值
■發光光譜分析機系統
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