移動方向 XY軸2方向
移動量 ±150mm
ステージ面 200mm×200mm
使用モータ PK545NBW相當（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.004mm
送りねじリード 2mm
移動ガイド ボールウェイ
移動精度HV 真直度（水平?垂直）0.03mm
位置決め精度 0.1mm
繰り返し精度 ±0.002mm
ロストモーション 0.002mm
XY直交度 0.06mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.04sec/N?cm、ピッチ剛性　0.04sec/N?cm、ロール剛性　0.04sec/N?cm
耐荷重 392N（40kgf）
質量 21kg
最高速度 20mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 アルミ合金／白アルマイト梨地
原點センサ ノーマルオープン接點（メイク接點、Ａ接點）動作、フォトセンサ
原點前センサ ノーマルクローズ接點（ブレーク接點、Ｂ接點）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接點（ブレーク接點、Ｂ接點）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STD2、ACB-STD3

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