項    目

DZM－1000具體配置或參數要求

真空室

真空室內腔尺寸

L×W×H＝Φ1000×1200mm3  

真空室材料

整個真空室采用優質低碳鋼材料制造

真空室結構

臥式，單開門結構。

觀察窗

工作室安裝一個觀察窗。可以分別觀察工件及蒸發源

旋轉工件架 （2套）

工作軸數量

6軸

軸轉直徑及長度

Φ300×1000mm   

旋轉速度

夾具速度采用無級調速裝置

工件旋轉方式

采用公轉、自轉結構

抽氣

系統

機械泵

采用2X－70旋片式真空泵一臺(5.5KW)

增壓泵

采用ZJP－300羅茨真空泵一臺(3KW)

擴散泵

1、 采用KT－600型擴散泵一臺，口徑：Φ600mm（9KW）

2、高效水冷冷阱

維持泵

1、采用2X－4型旋片式真空泵一臺（0.55KW）

2、真空帶充電磁閥一個

其它管道閥門

1、全部氣動控制閥門（註：由購方自備壓縮空氣源）

2、閥門控制采用專用氣缸和組合式換向閥組（帶水分離器）

3、真空管道采用無縫鋼管制造

4、法蘭連接主要采用活動法蘭連接，裝拆更方便

5、減震采用真空橡膠管

6、采用緩沖式門扣，減低關門對設備的震動而損壞加熱絲

7、設置管道真空測量孔，作管道泄漏檢測

冷卻系統

循環水冷（註：由購方自備冷卻水源系統）

鍍膜

方式

電阻式蒸發源

配15kw蒸發變壓器及電阻式蒸發電療

外接控制盒

新型節能功率控制器

控制

系統

手動、自動一體化，一鍵式切換

1、7寸全彩觸摸屏人機界麵，PLC可編程控制器

2、真空測量及設備控制采用數顯式復合真空計

3、采用過流、過載、漏電保護

4、設備帶有缺水報警保護功能

5、閥門自鎖、互鎖

裝機總功率

380V

37KW

真空

參數

抽真空速度

（空載清潔狀態）下從大氣到5.9×10－2Pa<=8分鐘