真空磁控濺射鍍膜機廣泛應用於傢電電器、鐘表、燈具、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及機器機表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層。所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象,早在1982年Grove在實驗室中就發現瞭這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞,若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
本公司的磁控濺射鍍設備有以下幾大特點:1、膜厚可控性和重復性好,能夠可靠的鍍制欲定厚度的薄膜,並且,濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層; 2、薄膜與基片的附著力強,並且部分高能量的濺射原子產生不同程度的註入現象,在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;3、可以制備特殊材料的薄膜,可以制膜層可以使用不同的材料同時濺射制備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;4、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
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