中頻電源主要用於如TiC,或CrC之類靶材易中毒的膜層,如果是鍍純鈦或純鉻,那麼,用直流電源就足夠瞭.又或是TiN, CrN之類鍍膜,當然中頻電源更好,但是用直流電源,特別是薄塗層,也可以做到.
不銹鋼分奧氏體不銹鋼(如SUS316, SUS304, 1Cr18Ni9Ti)和馬氏體不銹鋼(如136,403,3Cr13)兩種.對於裝飾性件,如表帶表殼,一般使用的是奧氏體不銹鋼,對於塑膠模具,特別是鏡麵模具,則很多使用馬氏體不銹鋼.兩種材料鍍膜方法有不同.根據你提問猜測,你需要的是奧氏體不銹鋼材料上鍍CrC, TiC裝飾塗層.
1.這些材料硬度不高,而CrC,特別是TiC硬度很高,而且與基體結構相差過大,所以前麵一定要打純金屬底層,和過渡層,才能保證結合力.
2.現場操作中,CrC比TiC容易保證結合力.如果是非光面產品,可以選用較高的偏壓離子清洗.對於TiC,要保證結合力最好能加熱到300度成膜,在180度下使用脈沖偏壓電源也可以得到較好的效果.
3.鍍鈦和鉻,一般得到金屬本身的顏色.要做顏色,就要加入相應的反應氣體.如加入氮氣,控制氮氣分壓,則分別得到銀色的CrN,黃色的TiN;如加入乙炔,則根據乙炔加入量與氬氣比例的由少到多,分別得到灰色或黑色的CrC,TiC.要註意防止設備漏氣,增加遮擋不可見光的屏蔽條,否則,顏色會含雜色.
4.中頻頻率一般用40~50KHz.頻率太高,會降低濺射率,頻率太低,靶材容易中毒;
5.以TiC為例,不銹鋼中頻濺射成膜的主要流程是:前清洗,上架,預抽真空,加熱,偏壓電源高壓離子清洗,偏壓電源常壓離子清洗,鍍Ti底層,鍍TiN過渡層,鍍TiC.包裝前,有需要的,還要做UV噴塗.

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