產品詳情

創新點:之前的CX-200TM采用五軸手動樣品臺，改進後的樣品臺升降，采用計算機導航的馬達驅動。相對其他四軸，Z軸的調節，是圖像質量和分析質量非常重要之變量，在幾乎不增加費用的基礎上，給高水平的操作帶來極大方便。這種創新思路，是其他任何廠商所沒有的。
CX-20OTM型是當前先進性和經濟性結合最好的大型鎢燈絲掃描電鏡。

詳細信息

主要特點：
中型樣品分析室，可接配多種分析附件
五軸機械對中樣品臺
渦輪分子泵真空系統，無需冷卻循環水機
低真空環境模式，絕緣樣品可直接觀察
全數字化電器，結構緊湊，移動方便



性能指標：
分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI） 
        4.0nm（30kV，BSEI） 
放大倍數：15x~300，000x
加速電壓 0.5kV~30kV 
電子槍：預對中鎢絲陰極
透鏡系統： 2個聚光鏡，1個物鏡 
物鏡光闌：4孔可變光闌，搖擺對中合軸 
圖像電位移和電旋轉：±50μm（WD：10㎜）；0-360°無限 
樣品室：內徑φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS. 
樣品臺及行程：五軸機械對中樣品臺，Z軸升降計算機導航馬達驅動 
             X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360° 
最大樣品尺寸：160mm（直徑）X 71mm（高度） 
操作系統：PC機控制，Windows7，21.5英寸彩顯，GUI操作軟件嵌入多種圖像實時分析測量工具，鼠標鍵盤操作 
自動功能：自動聚焦，自動亮度對比度，自動消象散，自動飽和，自動對中，自動偏壓電阻。 
視頻分辨率及幀頻：選區模式：320 x 240像素   30幀/秒
                 TV模式：640 x 480像素     10幀/秒
                 慢掃描模式：800 x 600像素（3檔速度） 
                 掃描模式：1200 x 600像素（SE BSE 雙信號） 
                 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840像素 
                 示波器模式 
圖像格式 JPG，TIFF，BMP 
語言英語 
真空系統：帶安全防護的自動高真空系統，樣品室處真空度優於7.5x10-5 Torr，真空度實時顯示。
         渦輪分子泵260升/秒＋旋片式機械泵100L/min 
總功率：2KW
外形尺寸和重量： 
主機：80（W）x90（D）x150（H）㎝，400㎏ 
電腦桌：任意

新手教學

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