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一、島津EDX- 720 X射線熒光光譜儀主機部分:
1、 X射線發生器單元
X射線管
類型Rh靶
冷卻方法空冷（附風扇）
2X射線電源單元
電壓5-50kV，每步1Kv（測定重金屬(Cd,Pb,Hg,Br,Cr等)時，可以用50ｋV。但測定輕元素時，15kV是最有效的。另在工作曲線法中，隨時可設定最佳電壓。）電流1-1000μA，每步1μA
穩定度±0.01%（外電壓波動±10%）
保護電路過電壓, 過電流, 過功率,
X射線連鎖保護
（特點說明：電壓、電流可以由計算機控製自動調節，滿足不同元素的高精度分析，同時滿足RoHS，ELV指令擴展的要求）
3、一次X射線濾波片5種自動交換
（特點說明：不同元素應該採用不同的濾光片進行分析，這樣才能有效降低背景，得到高準確度的測量數據。EDX-720進行元素分析時可以自動判斷元素和更換相應的濾光片，無須手動更換）

二、島津EDX-720 X射線熒光光譜儀檢測器:
1、檢測器
類型Si（Li）檢測器
液氮只有在分析時添加
液氮消耗少於1升/天
檢測麵積10mm2
分析元素Na-U
分辨率：小於150電子伏特
（特點說明：採用液氮製冷方式的檢測器具有高分辨率，可以避免元素譜線之間的干擾，從而保證高準確度的分析。在性能、實績、穩定性上，Si(Li)半導體是絕對性的實績（島津檢測器是自己生產，在萬一發生故障也迅速對應）。 掘場按振動檢測器的性能下降。 精工較差的Si-PIN半導體分辨率為220eV、在分析樹脂中的Cd、Pb時，容易受到Br和Sb等共存元素的干擾、並時不能檢出，還有因為是低強度，在測試金屬中有害元素的感度也差。 ）
2、計數單元
放大器
擬合時間10μ秒
增益變化高/低
多道分析器（MCA）
變頻型順序比較ADC
道數2048道
最大計數率232-1/道

三、島津EDX-720 X射線熒光光譜儀樣品室與測定室單元
1、樣品室
蓋子自動開啟/關閉（帶安全系統）
每次測定時蓋子自動上升與下降。
最大樣品尺寸 300mm 直徑x 150mm高
（特點說明：樣品室自動開啟，樣品蓋子的結構設計有效避免X光的洩露，滿足日本及中國X射線的洩露控製標準。超大型的樣品室可以容納大型的部件直接放入測試，無須切割）
2、測定室
X射線照射麵積下照射
光欄直徑1、3、5、10mm可選
（特點說明：不同的分析麵積採用不同尺寸的光欄，可以保證各種大小樣品的高精度測試。）
測定室開孔13mm
3、測定氣氛：大氣
4、CCD觀察定位系統
配備CCD數碼觀察系統，可以準確定位分析區域。