1、無塵車間系統
室內的空氣淨化系統可分為水平層流，垂直層流和亂流，選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決於房間的工作參數。
2、潔淨度與換氣次數
房間的潔淨度取決於單位時間的換氣次數，因此慎密考慮房間的工作性質，以及生產工藝要求，再決定淨化系統的技術參數。
3、結構
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行結構設計，必要的謹慎可以防止房間裡任何地方的灰塵積。
4、設計方案
要確定設計方案，必須先對房間的工作性質以及其中的氣流條件進行認真的考慮，發塵量大的車間不宜採用地面送風形式，潔淨度要求高的車間應盡可能遠離其它車間。
5、材料
作為潔爭室頂棚，牆面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據房間不同的工作條件，還必須考濾材料的化學性能是否穩定。
6、壓力和氣流
為了保證房間的潔淨度，必須防止外面污染氣流進入室內，要達到這個目的，房間裡必須保持正壓，為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當的新鮮空氣。
7、輔助設備
必要時還得安置一些輔助設備：如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等，這些設備必須適合房間的要求，並且必須真正瞭解其功能。
8、人和物的控制
人和物是潔淨室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進入淨化房前，所有的人都要經過人淨系統，更換無塵衣，並且要接受淨化系統功能的基本教育。
9、給排水和送風裝置及電源
根據所要運行的車間，提供必須的給排水裝置，送風裝置和電源，這些裝置和所涉及的設備必須易於使用和設計，同時不得有勃於空氣淨化系統，
潔淨室的規劃一般性的規劃重點
潔淨室的整廠規劃，因涉及範圍極廣，需建築、水電、空調、環保、防震、製造等各項專業人才共同規劃，儘管不少潔淨室規劃，多需要就於既有的建築物，然而，為避免失誤慶盡可能事先確認下事項：
1、潔淨度等級，2、室內平衡措施，3、溫濕度要求，4、機器設備之必要性，5、確定生產流程，6、局部排氣之必要性，7、日後擴充彈性，8、足夠維護保養空間，9、空調送風方式，10、員工休息區之安排，11、設施與動力之配置，12、室內淨高與樓板載重，13、設備空間與管道間，14、門窗宜少，氣密性要佳，15、靜電、振動及噪音，16、生產線與活動線少交，17、公害、污染與防災，18、安裝及運轉成本之衡量。
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