SET3/1064/532/355,SFT3:激光調阻機解決方案
產品特點:
--調阻精度高:先進的激光器提供瞭TEM00高光束質量和極細線寬的激光束;四線制高速測量系統,測量時間僅為25us;擁有軟件預調誤差補償功能;
--調阻速度快:先進的激光器擁有極高的重復頻率,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進口掃描振鏡,掃描速度極快;高精度分步重復機構,空氣軸承,移動速度及加速度快;
--可靠性高:整機配置核心器件均采用原裝進口配置;采用花崗巖臺座,穩定可靠;
--功能強大:擁有溫度實時補償功能;同時具有激光劃片和打標功能;
--運行及維護成本低廉:采用半導體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能穩定;電光轉換效率高,節約用電成本;采用風冷系統,無須外置冷卻設備;操作簡單,無須高額培訓成本;
技術參數:
--激光器系統:
激光類型:半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
激光波長:1064/532/355nm
激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
激光頻率:200Hz-50KHz
典型光斑尺寸:30μm
實際切口取決於材料、光學器件和波長;可根據需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達12μm
泵浦源使用壽命:20,000—100,000小時
冷卻方式:風冷
對焦方式:計算機程序控制
--激光束定位系統:
激光束運動范圍:75mmX75mm(可選配其他規格)
點到點運動時間:5ms(典型)
最大速度:7000mm/s
重復定位精度:2.5μm
激光束最小步進:0.76μm
--圖像監視系統:
監視方式:激光同軸監視
最大放大倍數:>100倍
圖像監視顯示屏:19寸液晶
--測量系統:
激勵方式:電流/電壓激勵
恒流源:0.01μA~100mA計算機程控選擇
恒壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓范圍)
電阻測量方式:四線制加電流測電壓
直流電壓測量:10mV~10V(滿程電壓)
調節對象發熱控制:程序可設定
電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
電阻測量范圍:0.01Ω-500MΩ
電阻測量速度:25μs
直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下)
探針板:44針11組四線制(可選其它規格)
探針板運動:計算機程序控制
--計算機及軟件系統:
工業控制計算機(雙核),17寸液晶
操作系統:Windows XP
VB平臺開發的可視化應用軟件,界面友好,功能強大
--分步重復運動系統:
運動XY范圍:290x260mm
運動分辨率:1μm
定位精度:小於6μm(帶誤差補償)
重復定位精度:小於3μm
最大運動速度:900mm/s
具有溫度補償等功能
--非接觸溫度測量:
溫度測量精度:0.2℃
調阻溫度修正:計算機程序控制
--其它技術指標:
供電電壓:220V AC
整機功耗:小於1000W
應用和市場:主要應用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛應用於厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業。
武漢三工光電設備制造有限公司,集研發、生產、銷售一體的專業化激光生產廠傢
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