什麼是FFU?
FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端,一般放置在吊裝的“幹式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊,下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除瞭要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個循環風所有通道部件的阻力,從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便,風速調節靈活,潔凈區易於變更等特點,因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一。
FFU具有特點:
第一:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房裡,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房佈局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是FFU的獨特特點。由於它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對於潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區裡,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉瞭風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為瞭一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在後期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。
FFU組合的關鍵性能參數:
模數尺寸(ceiling modular size):安裝吊頂龍骨中心線的間距,FFU常用的標準模數尺寸為1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),1200X1200(4’X4’)。
實際尺寸(actual size):鴻茂實業的FFU過濾器的實際尺寸=模數尺寸-(龍骨斷面寬度-25mm),風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm,模數尺寸為1200,900,600所對應的FFU過濾器實際尺寸為1170,870,570,風機模塊的實際尺寸為1174,874,574。
機外餘壓(ESP):在某一設定風速下,風機模塊的總靜壓(TSP)扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力,即為機外餘壓(ESP),單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環風阻力的能力,無論是標註FFU機外餘壓或風機模塊的總靜壓TSP,都必需指名送風風速或風量,否則沒有意義。
輸入能耗(input power consumption):FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積,單位是W。顯然,FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,輸入能耗不同。因此,如果不指明運行工況點,輸入能耗值沒有意義。
單體噪音(noise level):根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值,單位是dB(A)。FFU在不同的運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,噪音不同。因此,如果不指明運行工況點,噪音值沒有意義。
微振(micro vibration):根據標準IES-RP-CC002,FFU在最大運轉工況點時的振動幅度和振動速率,單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度(air uniformity):根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時,在距離出風面上方150mm(6”)的水平面上測量逐點的風速,得出平均風速值。平均風速與最大風速和最小風速的偏差比即為送風均勻度,單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等級(filter grade):依據歐洲標準EN1822,過濾器等級從H10-H14,U15-U17。或依據美國標準MIL-282(HEPA),對於0.3um的效率值;依據美國標準IES-RP-CC007.1,對於0.12um的效率值。
廣州坤靈凈化科技有限公司專業生產的 FFU層流罩是一種自帶風機的空氣過濾凈化單元,它由初效過濾器、風機、高效過濾器和靜壓箱組成。采用220V/50Hz電源並以0.3m/s-0.45m/s的風速均勻送出,同時具備低噪音、低能耗、免維護、震動小、可調速和安裝方便等優點的風機過濾單元。
功能和特點:
*具備低速、中速、高速設置的三速開關。
*低噪音、低能耗、體積小。
*箱體與高效過濾器分體設計,安裝、更換方便。
FFU層流罩也叫“風機過濾單元”,也就是風機和過濾器聯結在一起,能自己提供動力的潔凈設備。
早在二十世紀六十年代,第一個層流室的建立就已經開始出現FFU的應用瞭FFU層流罩,中文專業用語為風機過濾機組。
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