入料→洗劑噴淋洗1→洗劑滾刷洗→切液1→噴淋洗2→超音波清洗→切液2→BJ清洗→原水噴淋洗→三組風刀風切幹燥→下料(除靜電)
一、 清洗工件規格
基板尺寸:305mm×305mm
基板厚度:3~4mm
二、 設備的能力
輸送高度:950±20mm
工作寬度:650mm(有效最大)
傳動方式:傘齒輪傳動(外傳動)
輸送速度:1~3m/min(變頻無級可調)
輸送方向:左進右出
設備尺寸:6850(長)x1600(寬)x1150(高) (mm)(不含電控櫃及風櫃)
三、 耗用資源
總耗電量:40KW
總耗氣量:250L/Min(由客戶提供4MPa以上的潔凈壓縮空氣)
純水耗量:5~20L/Min
總抽氣量:80M3/Min
四、 其它選項
1. 省水、電設計
2. 過濾系統
3. 噴嘴壓力調整
4. 變頻器: 滾刷、傳動
5. 過溫保護: 水箱噴淋液溫設計上限50℃
6. 泵浦保護: 設計水箱低掖保護
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