激光修阻機電子元器件
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2010年武漢三工光電發力解決瞭激光修阻機在研發當中遇到的各種難題，研發出具有國際先進水平的激光調阻設備，打破瞭國產精密電子行業依賴國外進口激光調阻設備的難題。激光調阻就是利用激光在電阻上刻蝕線段來改變電阻的截面積，從而達到微調阻值的目的。
激光修阻機SET507系列技術參數
1.激光修阻機的激光器系統
激光波長：532nm/355nm
激光平均功率：7W
典型光斑尺寸： 15μm±3μm
實際切口取決於材料、光學器件和波長
冷卻方式：風冷
對焦方式：計算機程序控制
2．激光修阻機的激光束定位系統
激光束運動范圍：50mm X 50mm
重復定位精度：2μm
定位精度：±5μm
激光束最小步進：0.76μm
3．激光修阻機的分步重復機械運動系統
運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
運動范圍：290mm*260mm
最大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據要求定做）
運動分辨率：1μm
重復精度：2μm
定位精度：±15μm
最大運動速度：500mm/s
4．激光修阻機的測量系統
激勵方式：電流激勵
恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇
電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
電阻測量精度：低阻：<0.05%+0.5%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.5%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍： 0.1Ω-10MΩ
電阻測量速度：25μs
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
探針板運動：計算機程序控制
5．激光修阻機的計算機及軟件系統
工業控制計算機（雙核），19寸液晶
操作系統：Windows XP
軟件可編程，界面友好，功能強大
軟件系統可免費升級和進行功能擴展
6．激光修阻機的圖像監視系統
監視方式：激光同軸監視
監視視場：2-3mm（對角線）
顯示屏：19寸液晶
7．激光修阻機其它技術指標
供電電壓：220V AC
整機功耗：1200W
薄膜激光調阻機工藝
激光器的選擇：
激光修阻機針對被修調電阻材料特性，選擇合適波長的激光器，可提升切割效果，對於金屬薄膜電阻，一般采用532um或355nm短波長激光可達到理想效果，有些金屬薄膜電阻也可以采用。
激光修阻機應用和市場：主要應用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛應用於厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業。
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