蘇州蘇奧製冷淨化工程有限公司:淨化工程是指將一定空氣範圍內空氣中的微粒子,有害空氣,細菌等污染物排除,並將室內的溫度,潔淨度,室內壓力,氣流速度於氣流分佈,噪音震動及照明,靜電控制在某一需求範圍內,這樣的一個過程叫淨化工程。
淨化工程分類:
淨化工程主要有:淨化車間、無塵室、無塵車間、潔淨室、淨化間、無菌室、醫院手術室、淨化裝修工程;從事生產風淋室、傳遞窗、自動洗手烘乾機、風機濾網機組FFU、超淨工作台、潔淨棚不銹鋼桌椅、貨架等,潔淨技術通常包括:空氣淨化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術.
術語是潔淨室淨化工程一般是建設潔淨室的工程。一、潔淨室之定義潔淨室(Clean Room),亦稱為無塵室或清淨室。它是污染控制的基礎。沒有潔淨室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔淨度級別。潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔淨室最主要之作用在於控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此空間我們稱之為潔淨室。按照國際慣例,無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對於光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。如表所示,每立方米將小於0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。二、潔淨室控管之項目 1.能除去空氣中飄遊之微塵粒子。2.能防止微塵粒子之產生。3.溫度和濕度之控制。4.壓力之調節。5.有害氣體之排除。6.結構物與隔間之氣密性。7.靜電之防制。8.電磁干擾預防。9.安全因素之考慮。10.節能之考量。三、潔淨室之分類
1.亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。優點:構造簡單、系統建造成本,潔淨室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高潔淨室等級。缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易污染製程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。
2.層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,並由高架地板或兩側隔牆板回風,此型式適用於潔淨室等級需定較高之環境使用,一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當佔空間,維修更換過濾器較麻煩。
3.複合式(Mixed Type):
複合式為將亂流式及層流式予以復合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。(1)潔淨隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI製程大都採用此種型式。潔淨隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;B.維修設備時可在維修區輕易執行。(2)潔淨管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理,將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔淨度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。(3)並裝局部潔淨室(Clean Spot):將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔淨工作台、潔淨工作棚、潔淨風櫃即屬此類。潔淨工作台:等級Class 1~100級。潔淨工作棚:為在亂流式之潔淨室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,採用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔淨空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱並加裝活動輪,可為彈性運用。
新綸科技目前是國內提供潔淨室耗品潔淨室工程和超淨清洗的龍頭企業。
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