真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱後向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。適用於氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱後，移至冷卻室中充入高純氮氣並立即送入淬火油槽，快速冷卻。如果需要高的表麵質量，工件真空淬火和固溶熱處理後的回火和沉淀硬化仍應在真空爐中進行。
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