K465i MOCVD
技術參數
K465iMOCVD機臺
特征描述
Veeco / Emcore TurboDisc K465i GaN MOCVD System
- Vintage: 2010
- Capacity: 54 x 2"
- RealTemp 200 monitoring system
- DRT-210 Real-time in-situ monitoring system
- Curvature of Epi-wafer
- Layer thickness and refractive index
- Wafer pocket temperature with wafer reflection compensation
- Source configurations:
- MO Source with (1) TMGa, (2) TEGa, (2) TMAl, (1) Cp2Mg, (1) TMIn, (2) spares
- (1) Lauda RE235
- (4) Lauda RE215 thermal baths
- Currently installed
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