這一系列的產品都有兩個空氣壓縮振蕩器;水平方向和垂直方向。使用MAPS系列產品,可以體會到卓越的除震(主動抑製振動)和保持精密位置的性能。 主要特征: ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() 主要應用: ![]() 例如:MEMS應用,原子力顯微鏡,原子成像設備等 ![]() 例如:半導體傳送設備,半導體加工設備,液晶檢測機器等 ![]() | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
MAPS系列規格(MAPS Series specificaiton) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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