商品代碼:4605355

  • 供應測震系統
    商品代碼: 4605355
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    商品詳細說明

        這一系列的產品都有兩個空氣壓縮振蕩器;水平方向和垂直方向。使用MAPS系列產品,可以體會到卓越的除震(主動抑製振動)和保持精密位置的性能。

    主要特征:

    隔振頻率范圍是被動系統無法實現的;
    大負載,可以為一個10 噸以上的設備提供防震;
    精確的位置重復性能;
    容易安裝;
    高性能,但價位較高;

    主要應用:

    納米科技領域
    例如:MEMS應用,原子力顯微鏡,原子成像設備等
    半導體、液晶製造或檢測領域
    例如:半導體傳送設備,半導體加工設備,液晶檢測機器等
    航空、航天、航海等特殊領域
    MAPS系列規格(MAPS Series specificaiton)
    參數
    MAPS-008
    MAPS-016
    MAPS-033
    MAPS-065
    MAPS-130
    MAPS-240
    固有頻率
    200Hz以下
    隔振方式
    空氣彈簧
    阻尼方式
    可調阻尼孔
    桌麵水平方式
    自動保持桌麵水平,重復位置精度±50um
    負載(Kg)
    400-800
    800-1600
    1600-3400
    3400-6600
    6600-13300
    13300-24500
    尺寸(mm)
    235*235*130
    296*296*140
    350*350*150
    450*450*190
    600*480*190
    700*600*267
    螺孔間距(mm)
    218*218
    276*276
    320*320
    420*420
    470*430
    560*560
    螺孔直徑(mm)
    10
    10
    10
    10
    10
    10
    重量(Kg)
    13
    42
    63
    110
    180
    230
    供給氣壓
    0.40-0.70MPa
    平均消耗
    45-65(L/Min)
    120-170(L/Min)
    最大消耗
    120(L/Min)
    300(L/Min)
    電壓
    100-240V
    功率
    400W
    450W
    溫度
    0-40℃
    濕度
    35%-85%RH
    隔振性能
    參照transmissibility曲線
    最大自由度
    6
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