當渦輪分子泵關閉或運轉極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內壓力梯度）來阻止前級側存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流。這種現象稱作反擴散或分子返流。在靜態條件下，整個系統的壓力均衡時，在前級管道側， 油的分壓力通常為10- 4 ～10- 6 Torr （ 或13.33mPa～133.3 Pa）最後也會波及到泵的入口處。當泵關閉時，適當地給泵內充氣是控製油分子返流，保持真空室內無碳氫化合物的一種有效的措施。 當停泵後，碳氫化合物返流很快通過泵進入真空室內，如果系統仍保持在真空狀態下，碳氫化合物將會粘在清潔的葉片和真空室的表麵上。在隨後再運轉該系統時，將極難抽除粘著的碳氫化合物。另一方麵，在渦輪分子泵停止運轉時，如果給泵充入乾燥氮氣或乾燥空氣，則該乾燥氣體將給暴露的表麵提供一層氣體保護層，而且在系統充氣後，返流的碳氫化合物由於與充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱