BY-510感應器的測定原理

1. 比重計感測器(S.G SENSOR): 浮波式(位能→電能)

根據藥液比重增大浮力增大, 比重減小浮力減小的原理當藥液中銅離子含量增加或減小時, 藥液的浮力也會變大或減小, 浮力的變化使重量一定的浮球上升或下降, 浮球的升降會發生位置變化, 當比重達到設定值時浮球感應器將其位能變化量轉換為電訊號傳遞給控製器, 控製器根椐電訊號判斷藥液比重的大小, 進行自來水添加來控製比重.

2.鹽酸感測器(HCL SENSOR): 電磁式(電能+動能→電能)

根據電磁感應原理: 當電流通過感測器線圈時, 會產生磁束(磁力線). 該磁束會依藥液中鹽酸的離子濃度而產生一定比例電流, 再將此電流變化量加以數值化, 並轉換為電訊號傳給控製器, 控製器根據電信號判斷藥液中鹽酸的離子濃度是否正常, 而進行控製鹽酸添加.

另溫度感測器內藏於鹽酸感測器之中, 用來檢知藥液溫度.

3.氧化劑感測器(NaCLO3SENSOR):電解式(電能→電能)

●H2O2(雙氧水)之概念及測定原理

雙氧水的氧化性很強，在氯化亞銅氧化為氯化銅的過程中，能增加蝕刻的速度，就再生劑而言，其扮演著很重要的角色。雖然，空氣中的氧也會產生再生反應，但是，一旦生產量增加時，氧的再生速度就來不及，所以為瞭促進蝕刻速度，作為氧化劑的雙氧水是不可缺少的。雙氧水傳感器，是將雙氧水做為蝕刻液再生反應的促進劑。在最小需要量下，控製最適當

的蝕刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少，可大幅提高品質、

降低成本。目的:即是以「如何使用最小需要量的雙氧水來管理藥液品質」作為參考量。

  基於這樣的參考量，本再生控製器並不是管理雙氧水，而是檢測出蝕刻藥液的蝕刻能力；一方麵用最少的雙氧水來補足蝕刻液中，由氧氣(O2)再生的不足部份，一方麵維持蝕刻生產的穩定性。

(1)根據鹽酸的再生方式（空氣再生）

H2O2

●雙氧水傳感器的測定原理

鉑金點在蝕刻液中反應時，依據藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會產生電荷量的變化。雙氧水傳感器會檢測出所發生的電荷量(出力)，並傳送到“BY-510”控製器。“BY-510”控製器再將雙氧水濃度和蝕刻速度等的相關資料入力；雙氧水傳感器所得到的出力在控製器上計算並顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來表示。

●一價銅離子和二價銅離子的含量對於測定值而言會有何變化？

當基板的銅(Cu)溶解於蝕刻藥液(CuCl2)中，二價銅會轉變為一價銅。(隨著銅的溶解，電位值既ORP值會下降)。一價銅和HCl會因空氣中的O2而產生再生反應。但是，生產量大時，空氣的O2來不及再生的部份，便需要H2O2做氧化劑。

當一價銅一增加，ORP值就會下降，而蝕刻液中的一價銅再生為二價銅時，ORP值就會上升.

BY-510控製器的適應環境

本沒備適應多種氧化劑的控製;

比重：1.280-1.300

鹽酸酸度:0.8-2.5N

電療電位(ORP):480-550MV

運行中可根據實際情況隨時作更改

蝕刻速度:0～5M/MIN

特點

• 拆卸清洗容易的感應器
• 防虹吸、防空轉的添加汁量系統
• 防氣體揮發的人工加料口
• 感應靈敏液位感應報警系統
• 功能強大可實時監控各項參數
• 設計合理的控製模式
• 詳細的故障信息反饋系統
• 功能強大的人機介麵可實時監控各項參數

氧化劑、鹽酸透明視窗及醒

新手教學

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