藍寶石 長晶法之比較
NO. | 項 目 | Cz法 | Ky法 | VHGM法 |
1 | 加熱型式 | 電磁感應式 | 電阻式 | 電阻式 |
2 | 使用坩堝材料 | 銥坩堝 | 鎢坩堝 | 鎢坩堝 |
3 | 使用熱場型式 | 氧化鋯或石墨碳纖材 | 鎢鉬材料 | 石墨碳纖材 |
4 | 目前使用最多區域 | 日,韓,臺 | 蘇聯 | 韓(STC 1傢) |
5 | 可製造最大晶體 | 6吋晶棒(A或C軸) | 90KG晶柱(A或C軸) | 6吋方型晶體 |
6 | 設備穩定性 | 優 | 極差 | N/A |
7 | 晶棒良率 | 高 | 低 | N/A |
8 | 自動化程度 | 高 | 低 | N/A |
9 | 人員需求 | 少(3~5臺/人) | 多(1~2臺/人) | N/A |
10 | 市場使用 | 多 | 多 | 少 |
藍寶石 CZ法與KY法 長晶之比較
NO. | 項 目 | 單 位 | Cz 爐 | 一般傳統Ky爐 |
1 | charge size | kg/run | 30 | 30 |
2 | 坩堝 | 銥坩堝(劣)※註 | 鎢坩堝 | |
2 | 可取晶棒直徑 | 吋 | 2"~8"(優) | 2"~4" |
3 | 生產時間 | 天/run | 6(優) | 14 |
4 | 2"產能 | mm/月 | 3000~3200(優) | 2000~2500 |
5 | 單位生產成本 | USD/mm | 4.5~6(優) | 6~8 |
6 | 調機時間 | 月 | 1.5~2.5(優) | 5~6 |
7 | 單位使用功率 | KW/hr | 35~45(優) | 60~70 |
8 | 耗電量 | KWH/run | 4500~6500(優) | 18000~25000 |
※ 銥坩堝可回收故不屬耗材，長期使用比鎢坩堝(耗材)合算。
藍寶石 CZ法與KY法 長晶爐之優勢比較
項 目 | 我們的CZ爐 | 國外CZ爐廠傢 | 國外KY爐廠傢 | |
機臺價格 | 低 | 高 | 低 | |
交貨期 | 快 (4~5個月) | 快 (4~5個月) | 慢 (6個月以上) | |
設備調整時間 | 短 (1.5~2個月) | 短 (1.5~2個月) | 長 (4~6個月) | |
技術來源 | 公司自行開發 | 自行開發 | 自行開發 | |
設備維修 | 佳，可隨時維修 | 差 ，須待國外支援 | 差 ，須待國外支援 | |
製造之設備 | CZ爐 | 兩者都能設計及製造,融合兩種技術之優勢,設計出效率及品質高之設備,且巳銷售國內外廠商使用 | 日本第一機電(KDN),TT(美國) | |
KY爐 | TT(美國),WATERFALL,APEX | |||
設備自動化程度 | 高 (99%全自動化電腦控製) | 高 (80%全自動化電腦控製) | 低 (60%以上須人力操作) | |
長晶技術 | 有 (自有之長晶團隊,提供設備品質提升之依據) | 無 (須和其它製程公司搭配,無法提供設備再提升之能力) | 無 (須和其它製程公司搭配,無法提供設備再提升之能力) | |
長晶能源使用 | 低 (35~45KW/hr,融合ky爐及Cz爐技術提供較好之溫場環境) | 低 (50~60KW/hr) | 高 (60~70kw/hr) | |
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