當渦輪分子泵關閉或運轉極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內壓力梯度）來阻止前級側存在的碳氫化合物通過渦輪葉片向真空室進行返流。這種現象稱作反擴散或分子返流。在靜態條件下，整個系統的壓力均衡時，在前級管道側， 油的分壓力通常為10- 4 ～10- 6 Torr （ 或13.33mPa～133.3 Pa）最後也會波及到泵的入口處。當泵關閉時，適當地給泵內充氣是控製油分子返流，保持真空室內無碳氫化合物的一種有效的措施。 前級管道設安全閥 ： 如果不采用一個操作合理的前級管道安全閥，就有可能即污染渦輪分子泵又污染真空室。當前級泵斷電停車時，前級泵就會給自己充氣反向通到渦輪分子泵的排氣口。這種前級泵充氣會輸送前級管道返流的泵油，之後通過渦輪分子泵進入真空室，這種現象稱為油污染，被污染後渦輪分子泵的葉片就必須在廠傢的指導下用氟利昂來清洗。
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