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概述：

主要用於多晶矽後處理車間內，對石墨預製件進行燒結，當石墨預製件經酸洗、高溫烘乾後殘餘水氣、氯化鹽等需經高溫真空煅燒並由載氣排出爐外。設備分頂部裝出料及底部裝出料二種爐型供選購。

性能特點：

1. 設備采用周期作業式。

2. 可對石墨電療、陶瓷等材料在高溫、高真空條件下進行燒結處理，也可在充入保護氣氛情況下燒結。

3. 設備發熱體采用經過純化處理的高純石墨碳棒，保溫層采用復合型石墨碳氈（經高溫2200℃處理)，在使用過程中揮發量少，受命長、隔熱性好。

4. 采用觸摸屏、PLC控製，配合機表及傳感器可實現全自動運行（保留手動模式），可實時監控。

5. 設備占地小，生產效率高，平均能耗低。

主要技術參數

型    號                     BDS-160              BDS-280                 BDS-350

電源電壓：          380V 3相  50Hz      380V3相  50HZ          380V3相  50HZ

工作電壓：            30V3相  50HZ        36V3相  50HZ          36V3相  50HZ

額定功率：                 160kW                  280kW                  350kW

最高溫度：                 1800℃                  2000℃                  2000℃

操作溫度：                 1550℃                  1600℃                  1600℃

熱場工作尺寸：     φ580550mm            φ820600mm             φ1000600mm

極限真空度：        6.67X10^-3Pa                6.67X10^-3Pa              6.67X10^-3Pa

工作真空度：       6.67X10^-2Pa（1550℃）   6.67X10^-2Pa（1600℃）   6.67X10^-2Pa（1600℃）

控溫精度：                 ±1℃                      ±1℃                        ±1℃

保護氣氛：         氬氣或氮氣                   氬氣或氮氣                   氬氣或氮氣

新手教學

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