10-100級無塵室對規劃設計、安裝施工、及後期的維護保養、運行管製等均有非常嚴格的要求。
千級無塵室
1000級-10萬級潔凈室的氣流方向和100級以上的潔凈室不同，室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，它主要靠過濾後潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔凈效果。
不同等級的無塵室，主要是依靠單位時間內所送風量（換氣次數）的不同來實現。
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