氬氣回收
◆ 工作原理
氬氣是大規模工業生產製取單晶矽的主要保護氣,它的要求之高,是安全生產和控製經營成本必須重視的一個重要方麵。
將排出含有粉塵雜質的氬氣,除去固體雜質,經緩沖罐進入氬氣壓縮機升壓,,經氬氣純化設備。最後將凈化後的氬氣送入使用地點.
氬氣回收純化裝置是對區熔單晶矽爐排出的氬氣進行回收處理,通過膜片壓縮機穩壓器進入氬氣純化裝置主體部分進行純化處理,使氬氣純度達到99.999%以上。
◆ 特點
1. 本裝置采用德國西門子PLC自動控製系統,做到無人職守.和上位機監控通信需要.
2. 假如系統裡壓力低於安全要求,立即有自動控製裝置,充氫氣保護。時刻保證系統壓力穩定
3. 增加的再生羅茨風機系統
a.保證乾燥塔的再生效果.及再生用氣量.
b.該純化裝置的工作系統與再生系統完全分離,及保證純化裝置的再生過程不影響工作系統.
c.再生氣量有羅茨風機循環提供.不增加氫氣壓縮機,冷凝器,除氧器.工作乾燥系統的負荷.
4. 微氧分析機表. 微水分析機表.在線分析並顯示,
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