這種泵具體可分為：1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。 延遲充氣也能使閥門有足夠的時間關閉，在經常停電的情況下，延遲充氣是很有用的。為瞭延遲充氣， 前級真空必須維持在1 ～1000 mHg （1 10- 3 mmHg ~1 mmHg 或133.3 mPa～133.3 Pa）范圍之內，所以在渦輪分子泵與前級泵之間必須有一個真空閥，或者在前級泵內部裝一個控製閥，該閥應在電源中斷時，使渦輪分子泵與前級泵隔離開來。否則，通過前級泵、前級管道被充氣，並導致瞭油的污染。
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