產品品牌：戈德爾

產品型號：GDR-20PR

◆ 外形尺寸

 

 570(W)×420(D)×740(H)mm

  ◆ 倉體結構(不銹鋼，約20升)

 

 420(W)×270(D)×170(H)mm

  ◆ 電極面積

 

 250(W) ×190(D) mm,3層  

  

  ◆ 清洗模式

 

 RIE or DP模式自動轉換

 

 

  ◆ 等離子發生器(韓國KM)

 

 頻率13.56MHZ,功率0-500W連續調節,自動阻抗匹配

  ◆ 控制系統

 

 觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制 ,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，

性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式

  ◆ 真空系統

 

 德國萊寶(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 進口氣動角閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器

  ◆ 壓力控制

 

 PID閉環自動穩壓控制

  

  ◆ 氣路系統

 

 2路工藝氣體+1路氮氣配置，電子質量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路