適用范圍:生產半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、光學鏡片、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業用超純水系統。水質可達最高可達18.3兆歐,符合電子行業生產所需超純水水質要求。我公司曾為國外很多知名電子工業廠家制作工業超純水設備。
工藝流程:
1、預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象2、預處理-一級反滲透-加藥機( PH調節)-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
3、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
4、 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
水質:水質符合美國ASTM標準,電子部超純水水質標準(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
材質:鋼襯膠 不銹鋼 有機玻璃等
流量(m3/h):0.1-500
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