商品代碼:420566

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    供應半導體材料設備_晶片拋光機
    商品代碼: 420566
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    商品詳細說明
    產品品牌:不二越Fujikoshi
    產品型號:SPM-19A

    設備概要:本設備為半導體晶片用單面拋光機。使用機械與化學的結合方式對晶片進行高精度拋

    光。可對應各種半導體材料(包括硅,鍺,砷化鎵等)

    對應工件尺寸:φ4”,5”,6”晶片。

     

     

    1.拋光加壓方式     重塊方式(帶有中心部氣缸加壓)

     

    2.加工壓力         總壓力=拋光頭本身重量(材質SUS304)+重塊重量(材質SUS304)

                     重塊罩(SUS304,特氟隆表面處理)+PVC(每軸)

     



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