- 產品品牌：KOYO/光洋
- 產品型號：208A-M300
| 是否提供加工定制:是 | 別名:臥式擴散爐 |
| 適用范圍:硅片 | 爐膛最高溫度:200-1200（℃） |
| 工作溫度:200-1200（℃） | 裝載量:6-8英寸（kg） |
| 工作室尺寸:100-150片（mm） | 外形尺寸:1200x4500x2700（mm） |
| 類型:真空爐 |
光洋Koyo 半導體芯片制造用橫式擴散爐
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