美國MKSINSTRUMENTS電源、測量、控製和復雜氣體相關的工藝監控技術等改善瞭設備的完好率和產品成品率，提高瞭生產產量和產品性能．
  美國MKS INSTRUMENTS目前產品主要包括：壓力測量和控製系列的電容薄膜壓力傳感器、模擬和數字壓力控製機器和閥等提供半導體工藝上、下遊壓力控製設備；質量流量控製器測量和控製半導體工藝中各種高純度、高精度氣體流量；射頻、直流及脈沖等離子電源、匹配器及測試工具為半導體工業提供瞭可靠的固態電源；STEXI系列產品提供諸如用於工藝腔清潔的ASTRON氟離子發生器，用於去膠工藝的R*EVOLUTION等離子源，用於CVD、ALD和清洗的SEMOZON氣態和LIQUOZON液態臭氧發生器；另外美國萬機機器MKS NSTRUMENTS還提供更廣泛的真空產品、氣體分析機、靜電控製、控製及信息技術等系列解決方案。


主要產品：MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關,MKS壓力傳感器,MKS真空矽,MKS發生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應氣體發生器,MKS壓力控製閥

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