產品品牌：奧博

產品型號：L65614-64J/RZQ

L65614-64J/RZQ全功能微控擴散系統該系統是生產半導體器件和大規模集成電路的重要設備。1、系統組成：a)擴散爐主機  b)推拉舟及層流凈化臺  c)氣源柜  d)排毒柜  e）微機控制柜2、擴散爐管數：1～4管/臺3、爐管內徑：φ90㎜×240mm 4、恒溫區長度：≤600mm±1℃(300～800℃）  ≤600mm±0.5℃(800～1250℃）5、單點穩定性：±1℃/24h(300～800℃）    ±0.5℃/24h(800～1250℃）6、氣源路數：≤6路7、氣源控制：MFC或浮子流量計8、推拉舟行程：1500mm9、推拉舟速度范圍及精度：（1～1000）± 3mm/min10、推拉舟位置控制精度：≤3mm11、冷卻方式：水冷+風冷12、微控部分采用STD總線功能模板    a)主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+總線接口部件    b)信號調理板：完成對溫度過程的采樣、放大及高精度A/D的轉換    c)人機界面板：接收鍵入信息管理，并配置9”液晶顯示    d)推拉舟接口板：輸出推拉舟速度值，完成舟位置檢測，輸出推拉舟的運動指令    e)MFC接口板：輸出MFC設定值，將MFC的流量信息采入計算機    f)可控硅控制及形狀量輸出板：完成與可控硅觸發及開關量放大驅動器接口等功能    g)鍵盤：采用標準鍵盤或專用小鍵盤    h)電源板（非STD總線板）    i)可控硅觸發板：完成可控硅的過零觸發或移相觸發驅動(非STD總線板)    j)開關量驅動板：完成由STD總線板的數字信號(TTL電平)的轉換、放大，用于驅動氣路閥（非總線板）    k)推拉舟驅動部分：接收總線板輸出的推拉舟速狀態指令，并將位置轉換成標準信號輸出，有手動自動轉換13、微機控制特點：    a)工藝溫度段數：1～14段，可選段運行    b)單段時間范圍：1～1080分鐘/斜變段    1～9999分鐘/恒溫段    c)三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值               d)三個溫度測控點獨立修正溫度測量值    e)PID參數，溫度修正量可在線修改                      f)溫度設定單位：℃   分辨率：0.1℃    g)工藝段時間設定單位：min，分辨率：1min                h)各類工藝數據斷電后長期保存    i)工藝氣體流量，推拉舟運動狀態由微機實行閉環控制  j)中文顯示各類提示信息k)各類輸入信息采用填表方式完成，條例清楚，邏輯合理
高溫真空燒結爐、粉末冶金燒結爐、真空氣氛燒結爐、太陽能燒結爐、微波燒結爐、坩堝燒結爐、熱壓燒結爐、真空熱壓燒結爐、超高溫燒結爐、超高溫反應燒結爐、聚四氟乙稀燒結爐、立式燒結爐、臥式真空爐、燒結爐、陶瓷燒結爐、鏈式爐、擴散系統、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結爐、雙工燒結爐、陶瓷燒結爐、馬弗爐、消磁爐、溫度控制系統、絕緣子熔封爐、縫焊機、加壓檢漏臺、壓力機、時效爐立式真空燒結爐、單、雙管臥式真空燒結爐、壓力燒結爐、陶瓷燒結爐、鏈（帶）式燒結爐、全功能微控擴散系統、真空擴散爐、高溫擴散爐、烘焙排臘爐、單管氫氣爐、真空燒結爐、雙工位立式真空燒結爐、陶瓷金屬化氫氣燒結爐、馬弗爐、消磁爐、WDNI系列高精度電腦溫度控制系統、WDNX多功能溫度控制系統、全鉭玻璃絕緣子熔封爐、PFJ-2型平行縫焊機、Y80-2/ RZQ加壓檢漏臺、熱穩態壓力機、時效爐、