- 產品品牌:歐米特
- 產品型號:OMT-5R
- 類型:正置式金相顯微鏡
OMT-5R半導體檢查顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為高級工業顯微鏡使用。OMT-5R半導體檢查顯微鏡可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
技術規格 | |
觀察頭 | 30°鉸鏈式三目(50mm-75mm) |
目鏡 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
轉換器 | 帶DIC插孔明暗場五孔轉換器 |
物鏡 | 平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡: 5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm20×/0.40B.D/W.D.10.6mm40×/0.60B.D/W.D.5.4mm 50×/0.55B.D/W.D.5.1mm選配 80×/0.75B.D/W.D.4mm選配 100×/0.80B.D/W.D.3mm選配 |
平臺 | 雙層移動平臺 |
平臺尺寸: 350mm×310mm | |
移動范圍:250mm×250mm | |
濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍、中性) |
調焦 | 粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm |
光源 | 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/100W,AC85V-230V亮度可調節 |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測工具 | 0.01mm |
可供附件 | 目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡 | |
平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
二維測量軟件 | |
專業金相圖像分析軟件 | |
DIC(10×、20×、40×、100×) | |
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
壓平機 | |
數字相機OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C 測量軟件OMT-1.5D |
新手教學
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