東莞市品雅真空設備有限公司經過近年來真空設備行業的知識積累,現在擴散泵以及擴散泵的維修保養
,擴散泵油上取得瞭一些實質性的進展,現與大傢分享所得。
1、油蒸氣的返流,分子態氣體的反擴散,油的裂化分解。擴散泵油有礦物油和矽油兩種,前者的熱穩定
性及抗氧化能力差,加熱易熱解裂化,返流到擴散泵中的機械泵油也易熱解,即由高分子油裂化成底分
子的氫和碳氫化合物。這些裂解物易返流而影響極限真空度的提高清洗不凈,污物殘留在泵內反復物質
循環,成為限製極限真空度的氣體。
2、密封性不好,因檢漏不嚴格而未消除的微小漏孔。
3、提高油擴散泵極限真空度的方法:
(1)改進設計,選擇合理的結構,足夠的加熱功率,選用恰當的噴嘴角度及間隙,增加蒸氣流速,減少
蒸氣流散射,凸腔可提高抽速三分一左右。
(2)減少返流;在一級噴嘴加水冷擋油帽,可使返油量降低半個到兩個數量級,在擋油帽上塗敷聚四氟
乙烯可使返油率大大減少。擋板、低溫、水冷擋板可降低返油量。用液氮冷阱捕集返流蒸氣。在泵進氣
口安裝13X型分子篩或氧化鋁吸附,吸附返流的蒸氣,可以獲得10-10~10-11托的真空度。在真空室與擴
散泵之間裝上用塗氮冷卻的鈦升華阱,可以消除有機物蒸氣對系統的污染。
(3)控製擴散泵油的返流,在泵起動和停止後的一段時間內有兩個最大峰值,運轉時應利用閥門的關閉
避開這兩個最大返油區域。選擇良好的工作液,飽和蒸氣壓低,熱穩定性好,化學穩定性好,氣化熱低
。最新的工作液有全氟醚油、天然碳化氫油(可獲得10-4~10-8托的極限真空)、合成碳化氫油(可獲
得10-4~10-10托板限真空)還有聚本醚、聚乙烯等等工作液。
(4)為減少氣體的反擴散,在擴散泵的前級再串接一臺擴散泵,可以降低前級氣體分壓,采用多級泵(
如用四級泵代替三級泵)可以降低壓縮比,減少氣體的反擴散。
(5)擴散泵在工作中,各級噴嘴的抽速和壓力是不同的,第一級噴嘴是決定擴散泵抽速和極限壓力的關
鍵。
品雅現貨供應原裝德國進口BUSCH普旭真空泵葉片RA0250D,RA0202D,歡迎來電詳詢。
批發市場僅提供代購諮詢服務,商品內容為廠商自行維護,若有發現不實、不合適或不正確內容,再請告知我們,查實即會請廠商修改或立即下架,謝謝。