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○1金屬尺寸(mm):354*228
○2玻璃臺尺寸(mm):250*150
○3運動行程(mm):200*100
○4機器重量(kg):100
○5外形尺寸(mm):756*540*860
2.○1Z軸升降行程(mm):100
○2工作距離(mm):96mm
○3 X Y Z數顯解析度(mm):0.001
○4X Y坐標示值誤差(um): ≤(3+L/75)
3. 影象系統
○1攝 象 機:國產彩色1/3″CCD攝象機
○2變焦物鏡倍率:0.7-4.5X
○3電視總倍率:20-120X
○4物方視場(mm):14-2.2mm
○5表麵光源與透射光源均用LED,亮度可調
○6電 源: 220V(AC) 50Hz 30W
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