INFIFCON SKY CDG045D真空計是高精度總壓強測量和控制的最佳選擇，為瞭達到優異的訊號穩定性和可重復性，將CDG045D真空計的溫度控制於45℃。全量程范圍從100毫乇至1000毫乇，配有全部常用的法蘭型式和FIELDBUS接口，和提供線性的0-10V與氣體類型無關的壓強訊號。INCIFON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片，陶瓷傳感器的優點是訊號穩定性好，從大氣壓恢復快，預熱時間短和超長的使用壽命，INFICON CDG是高質量，成本效益好的壓強傳感器，用於要求高的各項真空應用中。

優點：

1、 低成本，50%快速預熱，能效高，功耗低

2、 易整合於系統中，寬量程范圍，法蘭和接口，標準型號帶兩個設定點

3、 簡易的一鍵操作或遙控訊號調零指令，零點偏離可調

4、 診斷端口用於快速維修和維護

5、 兩年保修期，采用先進的加熱概念和傳感器保護，真空計使用壽命長

6、 由於卓越的訊號穩定性和可重復性，即使在嚴酷的等離子應用條件下，仍可長期使用，無需重新校準

7、 承諾和標準：CE、EN、UL、SEMI、ROHS

用途：

1、 用於蝕刻、CVD、PVD、ALD等半導體制造設備

2、 化學和腐蝕性真空過程

3、 常用薄膜和真空過程

4、 用於按國際標準監測測試機器的參考傳感器

5、用於跟蹤性測量的傳輸標準

接口方式：

KF16、1/2”管、CF16、VCR

新手教學

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