ST-21型方塊電阻測試機是四探針方塊電阻測試機中的新一代產品,是一種依照類似國傢標準和美國A.S.T.M標準而設計,專門測量半導體方塊電阻(或稱薄屋電阻、麵電阻,單位Ω/□)的新型機器。可用於測量一般半導體材料、導電薄膜(如ITO透明導電氧化膜)……等同類物質的薄層電阻。
該機器以大規模集成電路為主要核心;用基準電源和運算放大器組成高精度穩流源;帶回路有效正常指示電路;並配以大型LCD顯示讀數,使機器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
特 點
* 采用九十年代推出的大規模集成電路作為機器的主要部分,測量準確穩定;
* 以大屏幕LCD顯示讀數,直觀清晰;
* 采用單個乾電池供電,帶電池欠壓指示;
* 體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
* 輕便手持式設計操作、測試簡便; *.特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜;
* 帶探頭與被測物質接觸良好指示(LED) 、探頭帶抗靜電模塊;
* 單電源開關,推拉式探頭-主機接插件,操作極其簡便;
技 術 指 標
1. 測量范圍:
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
○1 1.00~199.99Ω/□;
○2 10.0~1999.9Ω/□;
2. 恒流源:
測量過程誤差:≤±0.8%;
3. 模數轉換器:
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數點同步顯示;
4. 測量不確定度:
在整個量程范圍內,測量不確定度≤5%
5. 四探針頭:
間距:1mm或3.8mm可選,偏差:≤2%;
針間絕緣電阻≥500MΩ;
6. 電源:9V疊層電池1節
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