北京飛凱曼公司提供光子晶體探測器型橢偏機。這種光子晶體探測器型的橢偏機是有日本PHL公司首創，並應用到橢偏機的測試中。日本PHL公司在光子晶體的研究和制造領域領先世界，由此開發出的光子晶體探測器型橢偏機具有測試速度快、測量準確、免維護、價格低廉等特點已經在光學薄膜、半導體薄膜、有機薄膜等領域有著廣泛的應用。該橢偏機可快速準確測量薄膜的厚度和折射率的分佈。
相比傳統的光譜型橢偏機，光子晶體探測器型橢偏機避免瞭探測器的機械運動。使得測試速度更快、測試更加準確、成本更加低廉。
SE-101，SE-102型都是經濟小巧的桌麵式橢偏機，SE-101主要用於薄膜的單點測量,SE-102則可進行點、線和麵的測量。該系列設備使用簡單，免維護，價格低廉，特別適合於實驗室和工藝線的在線膜厚檢測。
技術規格：
型號 | SE-101 | SE-102 |
重復性精度 | 0.1nm（厚度），0.001（折射率） | |
測量速度 | 0.05秒/點 | |
光源 | 636nm半導體激光器 | |
測量點尺寸 | 1mm2 | 點線測量：0.5mm2 麵測量：0.1mm2 |
入射角 | 70度 | |
樣品尺寸 | 4英寸 | 4英寸，1軸自動，2軸手動 |
機器尺寸和重量 | 250175x218.3mm/4Kg | 300235x218.3mm/9Kg |
數據接口 | RS-232C,千兆以太網 | |
電源 | AC100-240V（50/60Hz） | |
軟件 | SE-View | |
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