一、機器組成及工作原理
ICP等離子體單道掃描光譜機,是多元素順序測量的分析測試機器。 該機器由掃描分光器、射頻發生器、試樣引入系統、光電轉換、控制系統、數據處理系統、分析操作軟件組成。等離子體是在三重同心石英炬管中產生。炬管內分別以切向通入氬氣，炬管上部繞有紫銅負載線圈〈內通冷卻水〉當高頻發生器產生的高頻電流（工作頻率40MHz功率1KW左右）通過線圈時，其周圍產生交變磁場，使少量氬氣電離產生電子和離子，在磁場作用下加速運動與其它中性原子碰撞，產生更多的電子和離子，在炬管內形成渦流，在電火花作用下形成等離子炬（即等離子體），這種等離子體溫度可達10000K以上。待測水溶液經噴霧器形成氣溶膠進入石英炬管中心通道。原子在受到外界能量的作用下電離，但處於激發態的原子十分不穩定，從較高能級躍遷到基態時，將釋放出巨大能量，這種能量是以一定波長的電磁波的形式輻射出去。不同元素產生不同的特征光譜。這些特征光譜通過透鏡射到分光器中的光柵上，計算通過控制步進電機轉動光柵,傳動機構將分光後的待測元素特征譜線光強準確定位於出口狹縫處，光電倍增管將該譜線光強轉變為電流，再經電路處理和V/F轉換後，由計算機進行數據處理，最後由打印機打出分析結果。
二、機器型號：
HK－2000（準確度達到國傢A級標準）
三、技術指標
(1)分析速度快: 一分鐘分析最快掃描20個元素以上
(2)掃描范圍： 掃描范圍180~800nm、方式為正弦桿，由計算機控制的脈沖馬達驅動，最小掃描步距0.0005nm
(3)波長示值誤差和重復性：波長示值誤差 ≤0.03nm 重復性 ≤0.005nm
(4)相關系數： ≥0.9998
(5)精密度高： 相對標準偏差RSD≤1.5%
(6)穩定性： 相對標準偏差RSD≤2.0%
(7)測量范圍： 超微量到常量
(8)檢出限低： PPB級
(9)分析元素范圍廣：可對72種金屬元素和部分非金屬元素（如B、P、Si、Se、Te）進行定量或定性分析；基體效應低動態線性范圍寬，自吸收效應低
(10)測量方式： 單、多元素順序測量
(11)功率： 800W—1200W 可調
(12)操作便捷: 全新Windows XP下運行的第三代多窗口升級中文或英文分析軟件速度更快，功能更全,多窗口多任務同時執行(國內獨此一傢)
四、機器部件詳細參數
1、射頻發生器（RF）
（1） 電路類型：電感反饋自激式振蕩電路、同軸電纜輸出、匹配調諧、取功率反饋信號，進行閉環自動控制
（2） 工作頻率：40.68MHz ± 0.05%
（3） 頻率穩定性：≤0.1%
（4） 輸出功率：800—1200W
（5） 輸出功率穩定性：≤0.3%
（6） 電磁場泄漏射強度：距機身20cm 電場強度E：＜2 V / m
2、進樣裝置
（1） 輸出工作線圈：內徑25mm 、3匝
（2） 炬管：三同心型，外徑20mm的石英炬管
（3） 同軸型噴霧器：外徑6mm
（4） 雙筒型霧室：外徑34mm
（5） 觀測位置：縱向觀察高低和橫向觀察前後，可通過軟件直觀地調為最佳
（6） 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格：
1等離子氣流量計 (100－1000)L/h (1.6－16L/min)
2輔助氣流量計 (10－100)L/h (0.16－1.66L/min)
3載氣流量計 (10－100)L/h (0.16－1.66L/min)
4載氣穩壓閥 (0－0.4Mpa)L/h
5冷卻水 水溫：15－25℃流量＞5L/min水壓＞0.1Mpa冷卻水：電阻率＞1MΩ
3、分光器
（1） 光路： Czerny－Turner
（2） 焦距： 1000mm
（3） 光柵規格：離子刻蝕全息光柵；刻線密度3600線/mm，刻線麵積：80×110mm(可選用刻線密度2400線/mm，刻線麵積：80×110mm)
（4） 線色散率倒數：0.26nm
（5） 分辨率： ≤0.008nm（整個波段）
（6） 掃描波長范圍：180—500nm，3600刻線/毫米
180—800nm，2400刻線/毫米
（7） 步進電機驅動最小步距：0.0005nm
（8） 出射、入射狹縫：20μm×25μm
（9） 反射鏡規格： （78×105×16）mm
（10） 透鏡： φ30, 1:1成像
（11） 反射鏡規格： 凹型
（12） 分光器恒溫裝置：26℃±1℃
4、測光裝置
（1） 光電倍增管規格：R212UH或R928
（2） 光電倍增管負高壓：200—1000V自動調節穩定性＜0.05%
（3） 光電倍增管電流測量范圍：10-4~10-9A
（4） 信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz
（5） 采樣電路：使用國外高精密度運算放大器，使機器的靈敏度和精確度大大提高
（6） 機器數據采集：通過串口與電腦連接，從而簡化瞭電路使連接更加便捷
（7） 測光方式：單、多元素順序測量
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