凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2裡麵，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。 凈化工程是在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，並將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。 潔凈室最主要之作用在於控制產品（如矽芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負麵影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。 每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到瞭國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。 潔凈室狀態分為以下三種： 空態：已經建造完成並可以投入使用的潔凈室（設施）。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的設備。 靜態：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室（設施），但是設施內沒有操作人員。 動態：處於正常使用的潔凈室，服務功能完善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的工作。 控管項目 1、能除去空氣中飄遊之微塵粒子。 2、能防止微塵粒子之產生。 3、溫度和濕度之控制。 4、壓力之調節。 5、有害氣體之排除。 6、結構物與隔間之氣密性。 7、靜電之防制。 8、電磁乾擾預防。 9、安全因素之考慮。 10、節能之考量。 氣流的流動 氣流的重要性 潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。 潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分乾凈。然而潔凈室內除瞭人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。 風速的控制 潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而乾擾趨於混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。 另一方麵欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。 垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出麵的風速不可有速度上的差異；(b)地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。 影響因素 影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。 一般操作臺或生產設備等表麵的氣流分流點，應設於潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。 潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌麵鉆上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備佈局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。 潔凈室之構成 潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室： (1)天花板系統：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。 (2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風機等。 (3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。 (4)地板：包括高架地板或防靜電地板。 (5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。 潔凈室之建築主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件： A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕； B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子； C.吸濕性小； D.為瞭維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高
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