區熔爐QR-6技術參數:
1、生長直徑最大達6”,長度達2000mm的區熔單晶矽棒。
2、上、下軸提拉速度 0~30mm/min
3、上、下軸轉速 0~30rpm/min
4、上軸行程 2000mm 下軸行程 2000mm
5、高頻感應加熱電源振蕩頻率 2.2Mhz
6、高頻感應加熱電源輸出功率 120KW
7、高頻電源功率控制通過可控矽整流器控制 0~100%
三包期為一年,終身負責維修
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