商品代碼:3899642

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    1700℃單溫區三通道混氣CVD系統
    商品代碼: 3899642
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    商品詳細說明

    結構采用雙層殼體結構,並帶有分冷,使得殼體表麵的溫度小於55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能,減少熱量的損失內爐膛表麵塗有進口的高溫氧化鋁塗層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長機器的使用壽命
    加熱元件
     1800高純度矽鉬棒   ( 8根) 

    最高工作溫度 1700°C
    最大升溫速率  5°C/min
    最大降溫速率 5°C/min
    加熱區長度 455mm (18")
    恒溫區長度 150(+/-1°C)
    溫控系統一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控矽 SCR可設置30段升降溫程序。
    控溫精度 +/-1°C
    爐管材質和尺寸99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管ID: 72mm x  OD: 80 mm   x 1000 mm 
    密封法蘭兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經安裝數字式真空顯示計,和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr,泄漏率最大6 mtorr/min
    輸入電源AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:最大5KW
    真空泵和配件真空泵一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr 
    配件標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍一個LED數字式真空顯示計(測量范圍: 0.1mtorr ~ 850 torr) 
    氣體流量計3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 
    第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 
    第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 
    第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
    一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接於移動架內的混氣箱相連接 ,來監測混合氣體的壓力。     
    產品尺寸外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管 
    爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
    混氣系統:: 600 x 600 x 700mm 真空機組: 600 x 600 x 700mm


    新手教學
    1700℃單溫區三通道混氣CVD系統_實驗電爐_電熱設備_電工電氣_貨源_批發一路發
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