>> 產品特點   

臺式小型機，PLC人機自動控制，內部無電療，用於低污染及高潔凈材料表麵清洗、刻蝕、活化等工藝。 

>>技術參數 

 ◆設備外形尺寸 

 630(W)×650(D)×420(H)mm

 ◆倉體結構(耐熱玻璃或石英玻璃，約10升) 

 Φ215 × 300(L) mm

 ◆電療麵積(外置電容耦合或電感耦合電療) 

 180(W) ×210(D) mm 

 ◆等離子發生器(韓國KM) 

 頻率13.56MHZ,功率0-300W連續調節,自動阻抗匹配

 ◆控制系統 

 觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,並具有手動、自動兩種模式

 ◆真空系統 

 德國萊寶(Leybold)真空泵  D16C (20m3/h)

 SMC截止閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器

 ◆壓力控制 

 PID閉環自動穩壓控制 

 ◆氣路系統 

 2路工藝氣體配置，電子質量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路

新手教學

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